今天，青岛芯笙微纳电子科技有限公司（简称“青岛芯笙”）正在气体质料流量支配器（Mass Flow Controller，MFC）方面获得巨大冲破，攻陷了长远今后挫折国产半导体级MFC兴盛的枢纽本领壁垒，获胜开辟出基于高速压电比例阀的两款半导体级MFC产物，产物拥有极高的精度、牢靠性以及5倍于现有产物的安宁性。
MFC，即质料流量支配器，是一种可以正确衡量和支配流体质料流量的精巧仪器，是确保工艺流程确切性和产物相仿性的枢纽性能单位。MFC正在半导体工艺的各个症结中都阐扬着不行或缺的影响，比方，正在流程工艺（刻蚀、镀膜等）症结，用于对搀杂气体的各组分流量、以及装置真空度举行及时监测或调剂，确保搀杂气体比例正确；正在原料冲洗症结，用于支配工艺流程中的氮气流量，确保洁净和干燥的效益；正在超净间等根蒂办法中，用于对情况气体清洁度和风速举行长远安宁支配。为担保半导体创造流程的安宁性和产物的质料，往往恳求MFC产物拥有高精度、高安宁性、高牢靠性、且可以神速反响。
近年来，日本Horiba、美国Brooks等业内龙头企业接踵推出压电陶瓷式比例阀以及基于压电比例阀的半导体级MFC产物，正在普及反响速率的同时大幅度低落长远行使中本能退化、发烧、漏气等题目。国内极少公司固然获得了不错的兴盛，但其产物仍采用古板的电磁比例阀本领为主，产物力不敷，无法知足半导体行业高精度、高牢靠性、神速反响的需求。
正在六年中美营业战光阴，我国半导体行业通过加大自立革新力度、胀吹财产链协同兴盛、踊跃插足国际团结以及取得计谋扶帮与资金进入等方法，告竣了神速兴盛。同时，跟着半导体创造工艺的晋升和商场需求的延长，对高端MFC的国产化需求也将不停扩张。于是，兴盛半导体级MFC，胀吹该中央部件的国产化，对待保险国度半导体财产链安适至闭紧急。
青岛芯笙专一于高端气体流量测控本领，宗旨成为环球当先的半导体零部件供应商。公司中央团队来自于新加坡A*STAR、德国KIT、清华大学、中科院、同济大学、山东大学等国表里重心科研院校，担任中央流量传感芯片、模组、算法、编造集成等全链条自立中央本领。目前，公司具有创造专利23项，适用新型专利14项，一级计量证书50余项；承当科技部国度重心研发策动2项，山东省重心研发策动（巨大科技革新工程）1项；筑有“青岛芯笙-山东大学传感器测控连合实行室”、“青岛市气体流量测控本领重心实行室”、“青岛市气体流量测控本领专家事情站”研发平台，并具有研发车间800平米，创造车间4000平米，流量校准装备100余台；拥有IS09001、IS014001等品格处置和创造认证。
商场的安宁性依赖于产物格料的有力保险。颠末多年耕作，青岛芯笙已变成S300系列、UT系列、E系列等成熟安宁的产物线，并正在光伏、环保、医疗等诸多范围告竣了国产化替换，取得了商场的相仿认同。当前，又扩展了S700、DF500两款半导体专用流量计产物，起首组织半导体商场。正在道及公司及产物的上风时，公司创始人陶继方博士吐露，“行动一家本土的传感器公司，青岛芯笙的上风首要包含三点：最先，咱们的团队足够优良，每一面都有增光的本事和充裕的体会；其次，咱们拥有优良的生态情况，产物的保质保量交付离不开上游伙伴的强力扶帮，以及下旅客户保留着亲热的团结；终末，青岛芯笙公司不停保留高强度的研发和创造进入，研发进入使咱们保留本领当先，创造进入保险咱们产物的品格。最求高端极致，不正在低端商场内卷，是咱们破局的枢纽”，陶继方博士添补道。
“这还远远不敷”，正在道及公司的半导体级MFC新产物时，青岛芯笙公司研发核心担负人林博士吐露，“固然公司仍旧正在光伏商场占据一席之地，取得了安宁的订单，但咱们的本事和宗旨不止于此，咱们将对半导体装备中央零部件一一攻闭，这回的S700和DF500便是个中一项巨大冲破”。
青岛芯笙新开辟的两款产物均采用国际当先的高速压电比例阀本领，以及动态压力震荡储积本领，“压电比例阀是MFC中的中央支配部件，与流量传感器变成闭环，告竣气体流量的动态、神速安排”，林博士说道，“相较于目前国内主流的电磁比例阀，压电比例阀反响疾、支配精度高，且拥有极低的功耗和热噪声。咱们从2021年起首举行压电比例阀的研发事情，目前仍旧告竣压电陶瓷叠堆打算、履行器布局优化、全金属密封等枢纽本领攻闭和量产计划，比例阀的本能和相仿性都十分好”。
两款产物的重视心略有分别，个中，DF500正在幼流量支配方面精度、响适年光上更有上风，适合7nm/14nm先辈造程；而S700拥有更宽的量程选取和事情温度，适合大凡造程。“两款产物均采用了公司最新研发的自适宜动态支配算法，客户能够按照现实须要举行选取。两款MFC均采用半导体级双V原料和EP照料，适当SEMI恳求”，林博士吐露，“这两款产物都将正在9月25日的半导体装备和中央部件展前举行揭示，迎接新老客户们来调换。”
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